Impedans射頻功率計Octiv Suite 2.0
品牌：Impedans
型號：Octiv Suite 2.0
公司介紹：
Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務(wù)商，主要提供用于射頻和等離子過程監(jiān)控的智能傳感平臺。其服務(wù)涵蓋多個領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤和航空航天等。
Impedans的技術(shù)優(yōu)勢在于其先進的測量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領(lǐng)域具有較高的市場競爭力。通過提供高質(zhì)量的傳感器和測量設(shè)備，Impedans在多個工業(yè)領(lǐng)域中贏得了良好的聲譽。
產(chǎn)品介紹：
Octiv Suite 2.0 VI探頭是市場上*
先進的射頻傳感器，用于在線功率和阻抗測量，具有
無*比的精度和功能。以1%的真實精度，可以自信地建立腔室間的匹配和過程可重復(fù)性。該傳感器專為先進的研發(fā)和實時過程監(jiān)測而設(shè)計。它將Octiv Mono的脈沖監(jiān)測功能和Octiv Poly的諧波頻譜功能與先進的功能相結(jié)合，如重建時域RF電壓和電流波形，在數(shù)字化過程中使用專有的諧波相位解卷積技術(shù)，使離子通量的實時監(jiān)測成為可能，當與工藝基板串聯(lián)安裝時。獨特的是，該傳感器允許過程電極作為平面朗繆爾探針發(fā)揮次要作用，從而能夠確定等離子體密度和電子溫度。
主要特點
在單個傳感器上選擇5個頻率，同時測量多個頻率。
通過我們先進的校準方法，50Ω和非50Ω阻抗的精度
無*比。
傳感器運行重復(fù)性（<0.1%）能夠真實測量等離子體過程漂移。
單頻和多頻電壓和電流波形顯示。
離子通量監(jiān)測能力與蝕刻和沉積速率直接相關(guān)。
諧波相位輸出的基波，端點檢測的關(guān)鍵參數(shù)。
所有這些都可用于脈沖射頻，包括時間分辨模式（1微秒分辨率）和脈沖趨勢模式。
主要優(yōu)勢和應(yīng)用
在高功率下在線，性能相當于網(wǎng)絡(luò)分析儀和示波器的組合。
使用等離子體阻抗和諧波譜分析的高級端點功能。
以比多元OES端點檢測器更高的靈敏度檢測蝕刻端點（<1%開口面積）。
離子通量、等離子體密度和電子溫度的實時輸出是可能的（見柏拉圖探針）。
通過實現(xiàn)故障檢測和早期干預(yù)，可以獲得顯著的成本效益。
USB、以太網(wǎng)、EtherCAT和串行通信協(xié)議，具有易于使用的API進行集成。
相關(guān)型號：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
