Impedans射頻功率計(jì)Octiv Poly 2.0
品牌：Impedans
型號(hào)：Octiv Poly 2.0
公司介紹：
Impedans是一家愛(ài)爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務(wù)商，主要提供用于射頻和等離子過(guò)程監(jiān)控的智能傳感平臺(tái)。其服務(wù)涵蓋多個(gè)領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤(pán)和航空航天等。
Impedans的技術(shù)優(yōu)勢(shì)在于其先進(jìn)的測(cè)量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領(lǐng)域具有較高的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。通過(guò)提供高質(zhì)量的傳感器和測(cè)量設(shè)備，Impedans在多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域中贏得了良好的聲譽(yù)。
產(chǎn)品介紹：
Octiv Poly 2.0 VI探頭是一款多頻在線(xiàn)射頻電壓、電流和相位測(cè)量系統(tǒng)，支持網(wǎng)絡(luò)通信（可提供以太網(wǎng)Web服務(wù)協(xié)議、EtherNet/IP或EtherCAT）。該系統(tǒng)具有1%的準(zhǔn)確度，能夠可靠地實(shí)現(xiàn)腔室間匹配和過(guò)程重復(fù)性。其獨(dú)特便捷的外形設(shè)計(jì)，便于進(jìn)行改造以匹配機(jī)箱輸出，從而方便直接進(jìn)行等離子體監(jiān)測(cè)。借助這種先進(jìn)的VI探頭技術(shù)，可以消除產(chǎn)品報(bào)廢事件、端點(diǎn)檢測(cè)錯(cuò)誤和不必要的預(yù)防性維護(hù)等問(wèn)題。
主要特點(diǎn)
單個(gè)傳感器可選擇5個(gè)頻率，每個(gè)頻率下最多有15個(gè)諧波。
通過(guò)我們先進(jìn)的校準(zhǔn)方法，在50Ω和非50Ω負(fù)載阻抗中具有無(wú)*比的功率精度（1%的真實(shí)精度）。
傳感器運(yùn)行重復(fù)性（<0.1%），能夠真實(shí)測(cè)量等離子體過(guò)程漂移。
實(shí)時(shí)史密斯圓圖視圖，阻抗精度與離線(xiàn)矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相當(dāng)。
頻率跟蹤標(biāo)準(zhǔn)為基頻的±10%，可定制用于互調(diào)頻率監(jiān)測(cè)。
卓越的脈沖射頻能力，具有實(shí)時(shí)脈沖頻率和占空比監(jiān)測(cè)以及“時(shí)間分辨”模式。
USB、以太網(wǎng)、EtherCAT和串行通信協(xié)議，具有易于使用的API進(jìn)行集成。
主要優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用
使用等離子體阻抗監(jiān)測(cè)（PIM）和諧波譜技術(shù)清潔和蝕刻端點(diǎn)功能。
證明了對(duì)<1%開(kāi)口面積比的蝕刻終點(diǎn)的檢測(cè)，與多元OES終點(diǎn)檢測(cè)器相比，具有更高的靈敏度。
檢測(cè)晶圓放置問(wèn)題、漏氣、跨工藝污染和許多其他常見(jiàn)的等離子體故障。
測(cè)量整個(gè)腔室的健康狀況，無(wú)需進(jìn)行不必要的預(yù)防性維護(hù)。
通過(guò)實(shí)現(xiàn)故障檢測(cè)和早期干預(yù)，成本效益顯著。
相關(guān)型號(hào)：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
