Keithley SMU 2650 系列高功率 SourceMeter® 是泰克（Tektronix）旗下專為高功率電子器件測(cè)試設(shè)計(jì)的精密儀器，主要面向研發(fā)、生產(chǎn)測(cè)試及可靠性驗(yàn)證領(lǐng)域。以下是其核心內(nèi)容的詳細(xì)總結(jié)：
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### **一、產(chǎn)品概述**
- **定位**：專用于高電壓/電流設(shè)備及功率半導(dǎo)體（如二極管、IGBT、HBLED、太陽(yáng)能電池、電池、GaN/SiC器件等）的檢定與測(cè)試。
- **核心優(yōu)勢(shì)**：高功率（脈沖/直流）、高精度（6?位分辨率）、靈活性、易用性，支持復(fù)雜測(cè)試需求。
- **核心功能**：四象限電壓/電流源/負(fù)載（可源或阱）、高精度電壓表/電流表集成，支持瞬態(tài)與穩(wěn)態(tài)測(cè)量。
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### **二、關(guān)鍵型號(hào)對(duì)比**
| **型號(hào)** | **2651A** | **2657A** |
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| **最大功率** | 脈沖2000W（±40V/±50A），直流200W（±10V@20A等） | 直流/脈沖180W（±3000V@20mA、±1500V@120mA） |
| **電流能力** | ±50A（脈沖） | ±120mA（高壓模式） |
| **電壓能力** | ±40V | ±3000V（高壓模式） |
| **分辨率** | 100fA（電流）/100nV（電壓） | 1fA（電流）/100nV（電壓） |
| **應(yīng)用場(chǎng)景** | 高電流設(shè)備（如功率半導(dǎo)體、HBLED、電遷移研究） | 高壓設(shè)備（如3kV擊穿測(cè)試、SiC/GaN器件漏電測(cè)試） |
| **價(jià)格** | 33,100美元 | 40,000美元 |
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### **三、核心功能與技術(shù)**
1. **四象限操作**：可同時(shí)作為源或負(fù)載（阱），支持正負(fù)電壓/電流輸出。
2. **高精度測(cè)量**：
- 2651A：100fA電流分辨率，2657A達(dá)1fA（業(yè)界領(lǐng)先）。
- 數(shù)字化模式（捕捉瞬態(tài)信號(hào)）與積分模式（穩(wěn)態(tài)測(cè)量）可選。
3. **擴(kuò)展性與集成**：
- **TSP-Link總線**：支持多臺(tái)設(shè)備組合（2651A/2657A與2600B系列），擴(kuò)展至32通道系統(tǒng)。
- **TSP腳本技術(shù)**：無(wú)需外部控制器即可編程復(fù)雜測(cè)試流程。
4. **高壓/高功率脈沖**：2651A支持2000W脈沖功率，2657A支持3000V高壓測(cè)試。
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### **四、軟件支持**
1. **KickStart軟件**：
- 無(wú)需編程，圖形化界面控制儀器，實(shí)時(shí)顯示數(shù)據(jù)（圖表/表格）。
- 支持生成線性/對(duì)數(shù)/列表掃描，導(dǎo)出數(shù)據(jù)至Excel。
- **電池模擬器擴(kuò)展**：可創(chuàng)建動(dòng)態(tài)/靜態(tài)電池模型，模擬VOC、SOC、ESR等參數(shù)。
2. **ACS自動(dòng)化測(cè)試套件**：
- 支持Python腳本，適用于生產(chǎn)環(huán)境（晶圓測(cè)試、可靠性驗(yàn)證）。
- 提供數(shù)據(jù)管理、統(tǒng)計(jì)分析及自動(dòng)化測(cè)試流程構(gòu)建。
3. **遠(yuǎn)程控制**：內(nèi)置Web服務(wù)器，通過瀏覽器遠(yuǎn)程操作儀器。
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### **五、配件與兼容性**
- **測(cè)試夾具**：
- 8010型高功率夾具、8020型接口面板：安全連接晶圓或封裝器件。
- **兼容性**：與2600B系列SMU儀器無(wú)縫集成，支持混合系統(tǒng)搭建。
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### **六、服務(wù)與成本**
- **吉時(shí)利保障計(jì)劃**：低成本快速維修服務(wù)，簡(jiǎn)化維護(hù)流程。
- **典型應(yīng)用場(chǎng)景**：
- 半導(dǎo)體結(jié)溫測(cè)試、高功率瞬態(tài)分析、電遷移研究、電池/太陽(yáng)能電池特性分析。
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### **七、差異化亮點(diǎn)**
- **高壓與高電流覆蓋**：2651A專注大電流（50A），2657A專攻高壓（3000V），滿足多樣化需求。
- **靈活性**：通過TSP-Link擴(kuò)展多通道，適應(yīng)從單設(shè)備到產(chǎn)線級(jí)測(cè)試。
- **易用性**：KickStart降低操作門檻，ACS提供深度定制能力。
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**總結(jié)**：Keithley 2650系列通過高功率、高精度及靈活的軟硬件生態(tài)，成為功率半導(dǎo)體、新能源器件（如電池、太陽(yáng)能電池）及寬禁帶材料（GaN/SiC）測(cè)試的理想工具，兼顧研發(fā)效率與生產(chǎn)自動(dòng)化需求。
