| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 全立森凈化 | 型號 | N9-N5級 |
| 用途類型 | 工業(yè)潔凈室 | 氣流類型 | 混合流 |
| 凈化級別 | 萬 | 加工定制 | 是 |
LED無塵車間生產(chǎn)環(huán)境要求：
潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。
當出現(xiàn)下列情況之一時，空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：
1 生產(chǎn)工藝中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量及人員安全衛(wèi)生有影響；
2 溫濕度基數(shù)和允許波動范圍差別大的潔凈室；
3 凈化空調(diào)系統(tǒng)和一般空調(diào)系統(tǒng)；
4 潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；
5 系統(tǒng)風量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，均應(yīng)設(shè)局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。
排風系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 金屬有機化合物化學氣相沉積設(shè)備的尾氣應(yīng)設(shè)就地處理裝置；
2 酸、堿排風應(yīng)獨立設(shè)置系統(tǒng)，風機的電機應(yīng)按一級負荷供電；
3 工藝設(shè)備的排風系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用風機；
4 有冷凝液產(chǎn)生的酸、堿排風系統(tǒng)風管宜設(shè)置坡度和排液口，且風管系統(tǒng)應(yīng)采取防液體滲漏措施；
5 金屬有機化合物化學氣相沉積設(shè)備的排風系統(tǒng)應(yīng)采取防火、防爆措施；
6 酸、堿、硅烷排風系統(tǒng)的風管不應(yīng)穿越防火墻或通風、空氣調(diào)節(jié)機房的隔墻和樓板，當必須穿越時，不得設(shè)置熔片式防火閥；
7 酸、堿排風系統(tǒng)的風機應(yīng)設(shè)在廢氣處理設(shè)備的下風側(cè)；
8 工藝設(shè)備的排風溫度高于60℃時，排風管應(yīng)設(shè)保溫措施；
9 工藝設(shè)備局部排風系統(tǒng)的室外風管應(yīng)根據(jù)當?shù)貧庀髼l件設(shè)置防結(jié)露保溫措施；
10 潔凈室的排風系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防止室外氣流倒灌的措施。
換鞋間應(yīng)設(shè)置不低于10次／h的全室排風系統(tǒng)，排風口宜設(shè)置在下部；換鞋柜宜設(shè)置局部排風措施；一次更衣間宜設(shè)置不低于5次／h的全室排風系統(tǒng)。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風應(yīng)進行集中處理，新風處理機組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 送風機應(yīng)采取自動調(diào)速措施；
2 空氣宜經(jīng)過粗效、中效、高效過濾器三級處理；
3 新風處理機組應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于1％。
光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用循環(huán)空氣處理機組處理。
金屬有機化合物化學氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨立設(shè)置。
循環(huán)空氣處理機組宜采用干冷卻方式處理空氣。
循環(huán)空氣處理機組的風機應(yīng)采取自動調(diào)速措施。
空調(diào)加熱、加濕系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)利于工廠余熱的利用。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風吸入口位置，應(yīng)遠離排放有害物或可燃物的排氣口。
潔凈室(區(qū))的排煙系統(tǒng)應(yīng)有防止室外氣流倒灌的措施，并應(yīng)設(shè)置旁通管路用于平時巡檢。
潔凈室(區(qū))內(nèi)的排煙風管當使用產(chǎn)塵的保溫材料進行隔熱時，應(yīng)為具有雙層金屬板夾保溫材料構(gòu)造的成品保溫風管，保溫材料應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
空間管理設(shè)計應(yīng)滿足工藝設(shè)備和公用設(shè)備的外型尺寸、平面布置、運行、維修及其管線安裝要求。
潔凈生產(chǎn)層凈高應(yīng)按照生產(chǎn)設(shè)備和物料運輸設(shè)備尺寸、微環(huán)境裝置及潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于3m。
上技術(shù)夾層凈高應(yīng)按照空調(diào)設(shè)備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于2m。
發(fā)光二極管生產(chǎn)宜包括外延片生長、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封裝三部分。
